
半导体测试探针是半导体测试中至关重要的核心零部件,主要用于芯片设计验证、晶圆测试、成品测试等环节,起到连通芯片/晶圆与测试设备进行信号传输的作用 。
其结构一般由针头、针管、弹簧三个基本部件经精密仪器铆压预压之后形成 。工作时,探针通过微小的针头与芯片的接触点进行物理连接,向芯片内部传递测试信号并读取反馈数据,从而验证芯片的功能是否正常,检测出潜在的制造缺陷。
根据应用场景的不同,半导体测试探针有多种类型,如用于晶圆测试的探针台会配备高精度移动平台与探针卡;LED测试探针台集成了光学检测模块;功率器件测试探针台支持高压、大电流测试,并配备耐高温探针与散热系统等 。
半导体测试探针的技术要求极高,随着芯片制程不断缩小,要求探针必须实现±1微米的定位精度,同时还需具备足够的耐久性以应对高频次的测试操作。