探针的结构、分类、材料和工作频率

探针类型主要涵盖探针的结构、分类、材料和工作频率等，在半导体测试过程中，探针作为核心部件，起着连接芯片或晶圆与测试设备并进行信号传输的作用，选择适合的探针类型对确保测试精度和生产效率至关重要，以下将介绍探针的结构、分类、材料和工作频率：

01:探针的结构

探针主要由针头、针尾、弹簧和外管四个基本部件组成，这些部件经过精密仪器铆压预压后形成，由于半导体产品的体积较小，尤其是芯片，探针的尺寸通常需要达到微米级别，这使其成为一种高端精密电子元器件。

不同用途的探针外观有所不同，但其内部基本都采用精密的弹簧结构，产品表面一般进行镀金处理，以增强耐腐蚀性、电气性能、稳定性和耐久性。

探针的分类

常见的探针类型主要包括弹性探针、悬臂探针和垂直探针。

弹性探针由螺旋弹簧组成，其两端连接在上下柱栓上，这种探针通过弹簧的弹性来降低对待测物体的压力，适用于检测集成电路。

悬臂探针通过横向悬臂提供探针针部在接触待测半导体产品时所需的纵向位移，以避免施加过大的针压。

垂直探针可以对应高密度信号触点的细间距排列，通过针体本身的弹性变形提供针尖接触所需的纵向位移。

03探针的材料

- 常见的探针材料主要包括铍铜、高碳钢、黄铜、镍银、钯合金、青铜等。

- 铍铜：铍铜通常用于生产针头和接触元件，不仅具备优异的机械性能，还拥有高导电性，这使得它能够对触点位置进行长期的性能表现和耐用性方面的优化。

-黄铜：黄铜适用于圆形探针头型和加工过的针套，它具有良好的耐磨性和机械性能，同时具备高导电性，适合用于要求较高的电流传输应用中。

-高碳钢：高碳钢被广泛用于生产所有尖锐的探针头型或超长耐用性探针，其高硬度和锋利度确保了探针良好的耐用性和可靠的连接性。

 - 探针根据工作频率分为同轴探针和普通探针。

 - 同轴探针适用于对测试频率敏感的环境，其周围有铜管保护层，铜管与探针之间填充介质材料。

- 普通探针常用于对信号衰减不敏感的环境，通常在外围涂一层绝缘层，以防止走线交叉短路。